传感器
张志伟
张志伟,男,副研究员,硕士生导师。主要从事热电材料与器件、多功能薄膜材料与MEMS微传感器的开发与应用研究。主持军科委创新特区项目、先进航空动力创新工作站项目及横向课题等项目。在J. Cryst. Growth、J. Alloy. Comp、ACS Appl. Mater. Interfaces等期刊上发表科研论文30余篇,申请国家发明专利9项,授权3项。
科研方向:
(1)热电材料与器件
包括新型热电材料的创制和输运特性研究、微型热电转换器件的结构设计和构筑工艺研究以及热电功能组件的集成加工与功能验证研究。
(2)薄膜传感器
包括高性能薄膜材料的沉积工艺研究、微型温度/压力/应变传感器的结构设计、薄膜温度/压力/应变传感器的MEMS加工工艺研究及其在多种应用环境下的功能验证。